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Lumetrics测厚仪

测量原理:低相干迈克尔逊干涉仪 

Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度测量系统采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪原理。
如图所示:
Light Source(短相干光源)发出短相干光束,经Beamsplitter分束成两束光,这两束光通过准直仪聚焦到Measurement arm(测量臂)和Reference arm(参考臂)上;
在测量臂段,光束经待测物前后两表面反射产生两束反射光;在参考臂段,光束被delay line(延迟线路)中的扫描参考镜反射。
各反射光束经光纤返回到Beamsplitter 中,此时扫描反射镜反射的光束分别与R1和R2两束光发生干涉产生两干涉信号经探测器(光电二级管)转换为电信号再由显示仪显示。参考镜位置可以精确移动,当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时,才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动,就可以 测量被测镜的位置。
 

OptiGauge测厚仪特点

1. 非接触式、非破坏性;
2. 实时在线测量或离线测量;
3. 可单次测量多层膜,最高可测 20 层;
4. 探针灵活配置,实现多个不同目标测量 (最多可配8个探头);
5. 测试速度快(1s)
6. 适用范围广
 

性能参数:

型号
OptiGauge® LT
OptiGauge II
OptiGauge EMS
测量范围(n=1.5)
12μm to 3.3 mm
12µm to 12 mm
12µm to 35 mm
测量层数
1
20
20
绝对精度
±1μm
±0.1µm
±0.1µm
重复精度
1μm 1σ
0.1µm 1σ
0.1µm 1σ
扫描速率
50Hz
50Hz,100Hz 和200Hz可选
20Hz
光源
1310nm SLED
45nm wide
1310nm SLED
45nm wide
1310nm SLED
45nm wide
测量头工作距离
25mm and 50mm
25mm and 50mm
25mm and 50mm
光纤长度
3m,max 1000m
3m,max 1000m
3m,max 1000m

 应用领域:

Lumetrics 产品既可以提供独立的测量头,也可以集成在各种设备中,广泛应用在以下领域,
1、光电子行业:
2 、薄膜行业:测量塑料薄膜的厚度
3 、医疗行业:测量滴液管、塑料管壁厚、糖尿试纸、血袋等
4、单件元件厚度控制(特别适用于红外材料,测量厚度控制平行度)
5 、平板玻璃厚度测试:浮法玻璃、液晶平板 透镜中心厚及胶合间隙测量