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紫外大口径光学系统

 OptiX fab 专业为客户提供定制极紫外EUV 光学产品与元件,如用于极紫外光刻的13.5 nm 元件,同步和自由电子激光光束线,计量研发等应用。

特点:

 1 为客户定制 4 nm to 100 nm的EUV产品
 2 用于EUV光刻的极高反射率: R = 70.20 % @ 13.50 nm
 3可用于EUV光刻的金属多层收集镜集