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Exicor-150AT

美国Hinds成立于1971年,凭借其专利的PEM(光弹变调制)技术研发了高稳定的应力双折射测量系统,是目前世界上最高精度,广泛用于玻璃、镜片、激光晶体等行业。同时,利用PEM,开发了Stokes偏光计、Muller偏光计、2-MGEM偏光计、Kerr常数测量仪等系统。
 

LEADING EDGE SENSITIVITY AND REPEATABILITY

Exicor®150AT 是Hinds仪器双折射测量系统中Exicor系列最经典型号产品。系统多功能,适用于生产车间及研发实验室环境,被广泛用于研究或工业级光学元件:如光学掩模光刻等,手提袋、DVD、塑料膜、镜片,激光晶体,手机显示屏、注塑件等。人性化台式设计和简单的自动扫描软件,使该产品越来越受高精密光学元件的欢迎(最大尺寸达150mm×150mm)。
 

LEADING EDGE SENSITIVITY AND REPEATABILITY

采用光弹调制器技术(PEM),是目前世界上灵敏度最高的双折射率测量技术,反应时间快(50 kHz)。其优越的灵敏度和重复性广泛应用于纳米级双折射测量。
 

DESIGNED FOR SIMPLE, STRAIGHT FORWARD OPERATION

可手动或自动测量大光学样品6“×6”(大尺寸可选),结果以图形方式显示。只需将样本放置于载物台,直观的软件便可指导操作者通过步骤完成测量,并自动计算图中对应位置的延迟值和快轴角度,保存格式多样化,具有文件管理和校准功能。

Applications

质量控制

•低双折射测量
平板玻璃
科学光学元件
激光晶体
DVD
•光刻元件质量控制
光罩
熔石英光学元件
氟化钙透镜毛坯和窗口片

Significant Features

•低双折射测量中具有最高的灵敏度
•同时测量双折射和快轴角度
•重复精度高
•测量速度快
•无需移动光路中任何元件
•自动测量不同规格大小的光学元件
•光弹调制器技术
•操作简单方便 
SPECIFICATIONS
HIGH SENSITIVITY
EXTENDED RANGE
SPECTROSCOPIC
 
¼ Wave Systems
¼ Wave Systems
ATS Systems
 
延迟范围(nm)
0.005 to 100+
0.005 to 300+
0.005 to 300+ (Red)
0.005 to 250+ (Green)
0.005 to 200+ (Blue)
分辨率 / 重复精度
     
延迟量, nm
0.001/±0.008
0.001/±0.0015
0.001/±0.0025
快轴角度
0.01°/ ±0.05°
0.01°/ ±0.07°
0.01°/ ±0.07°
测量速度/时间
Up to 100 pps
Up to 100 pps
Up to 10 pps
扫描范围
150X150mm ~ 2X2m
根据客户要求
150X150mm ~ 2X2m
根据客户要求
 
激光光斑大小
~ 1 mm typical
~ 1 mm typical
Variable, 1-3 mm
Note:以上指标针对633nm波长的激光光源.
可根据客户需求定制从DUV (>150nm) to NIR (<1550nm).常用波长为 157nm, 193nm, 248nm, 355nm, 405nm, 436nm, 455nm, 470nm, 505nm, 530nm, 546nm, 617nm, 625nm, 632.8nm, 660nm, 850nm, 1064nm, 1310nm and 1550nm

•无需移动光路中任何元件
•自动测量不同规格大小的光学元件
•光弹调制器技术
•操作简单方便

Exicor 150AT主要用于测量光学样品在光路中双折射的相位延迟量和快轴方向。其独特设计(专利申请)可避免传统不同角度测量需转动光学部件带来的不稳定性。PEM光弹调制器基于光弹效应原理(应力诱导产生双折射)用于调制光的偏振态。He-Ne
激光以45°偏振角射入PEM,当设置为1/4波片光程差时,PEM产生交替的(以50KHz频率)右圆偏振和左圆偏振光。调制光束通过样品传输,并通过分束镜。每束光通过组合的分析仪,光学滤光片和光电探测器,并将微弱电信号通过锁相放大器放大出来。
 

 

 

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