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角分辨散射测量系统-Horos简易型散射仪
Scattered Light Measurement and Analysis-Compact Optical Roughness Sensor
Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量从微米级到亚纳米级的表面粗糙程度。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可
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Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量从微米级到亚纳米级的表面粗糙程度。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。

测量参数:粗糙度相关参数如功率谱密度(PSD),3D散射光分布,并可求得粗糙度,检测样品均一性

特点:

• 体积小,速度快: 测试时间<1s
• 非接触式2D/3D测量
• 高灵敏度/低噪声:Rq <0.5nmt
• 高动态范围≧1013
• 可与轮廓仪直接相连并比较测量结果
应用:可在下列领域中进行快捷,不受外界干扰的高精度检测
• 平面或复杂(各种形状)表面
• 光学加工(表面加工,镀膜,模具制造等)
• 机械零件