激光损伤测试系统用于测试光学元件的激光损伤阈值,以保证放置于光路中的各类光学元件的强激光负载性能。
系统特性:
- 光学元件激光损伤测试
- 晶体材料激光损伤测试
- 镀膜工艺优化
系统特性:
- 本系统采用图像识别方法判断光学元件的损伤情况,实现了对测试激光能量、光斑形态分布等测试参量的自主监测与反馈控制。
- 测试软件界面提供符合ISO21254标准的自主化测试与分析,并生成检测报告,尽可能便利客户。
- 本系统可以针对激光波长、脉宽、频率、损伤阈值等要求提供非标定制服务。
主要测试指标:
- 测试激光波长1064nm/532nm/355nm,脉宽5ns~10ns(具体指标以选用的激光器参数指标为准);
- 激光能量5%~95%可调,最大可测试激光通量100J/cm²(典型值,与选用激光器参数指标相关);
- 损伤图像自动识别,损伤识别横向分辨率≤10μm,损伤点≥10μm,识别率≥95%;
- 可测量元件最大尺寸≥100mm;
- 兼容“1 on 1”、“R on 1”、“S on 1”多种测试要求,自主化生成测试报告;
- 全自动测试,测试效率1个点/秒(对应1个样品如果测试200个点大约需要3分钟)
